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ulvac-kiko 高速光谱椭偏仪UNECSーPortableUNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用特的测量方式,实现了高速测量和机体的小型化。
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品牌 | 其他品牌 | 产地 | 国产 |
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ulvac-kiko 高速光谱椭偏仪UNECSーPortable
ulvac-kiko 高速光谱椭偏仪UNECSーPortable
高速測定:
独的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
适用于可见光谱:
波长范围可选标准类型(530nm至750nm)和可见光谱类型(380nm至760nm)。
紧凑型传感器单元:
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成,因此非常轻且紧凑,并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容:
产品阵容应用广泛,包括如独的便携类型,手动/自动平台类型,大型基板类型,以及支持大气/真空环境的内置类型。
透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蚀剂,ITO等)的膜厚,折射率,消光系数的测量
波长范围 | 530 ~ 750nm、380 ~ 760nm(选择) | |
点径 | Φ1mm、Φ0.3mm(选择) | |
入射角度 | 70o固定 | |
膜厚再现性 | 1σ = 0.1nm | |
膜厚范围 | 1nm ~ 2μm | |
测量时间 | 受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms | |
平台 | 固定类型(Φ150mm以下、可拆卸) | |
控制PC | 笔记本类型(带操作/分析软件) | |
机器构成 | 测量本体(带固定台)、控制器BOX、光源单元 操作PC(笔记本型)、使用说明书(CD) |