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ulvac-kiko 高速光谱椭偏仪

ulvac-kiko 高速光谱椭偏仪UNECSーPortable
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用特的测量方式,实现了高速测量和机体的小型化。

  • 产品型号:UNECSーPortable
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-04-11
  • 访  问  量:374
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品牌其他品牌产地国产

ulvac-kiko  高速光谱椭偏仪UNECSーPortable

ulvac-kiko  高速光谱椭偏仪UNECSーPortable


UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用特的测量方式,实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括特的便携式,自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-Portable,测量部的重量只有2.2kg重量轻且紧凑,是易于携带的便携式类型。
可用于真空设备现场验收试验,可以通过分离样品台直接放在样品上进行大尺寸样品的测量。

特点

  • 高速測定:
    独的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。

  • 适用于可见光谱:
    波长范围可选标准类型(530nm至750nm)和可见光谱类型(380nm至760nm)。

  • 紧凑型传感器单元:
    光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成,因此非常轻且紧凑,并且不需要定期维护。

  • 丰富的产品阵容:
    产品阵容应用广泛,包括如独的便携类型,手动/自动平台类型,大型基板类型,以及支持大气/真空环境的内置类型。

用途

  • 透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蚀剂,ITO等)的膜厚,折射率,消光系数的测量

规格

波长范围530 ~ 750nm、380 ~ 760nm(选择)
点径Φ1mm、Φ0.3mm(选择)
入射角度70o固定
膜厚再现性1σ = 0.1nm
膜厚范围1nm ~ 2μm
测量时间受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms
平台固定类型(Φ150mm以下、可拆卸)
控制PC笔记本类型(带操作/分析软件)
机器构成测量本体(带固定台)、控制器BOX、光源单元
操作PC(笔记本型)、使用说明书(CD)


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