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更新时间：2026-01-12 
浏览次数：1Nomura Micro Science（野村微电子科技） 开发的NOXiEMON®是不使用化学试剂的超纯水中过氧化氢在线监测仪，专为半导体、制药等高纯工艺领域设计。核心创新技术采用N-Lite® DEP（酵素担持树脂），通过固定化酶反应将H₂O₂直接分解为O₂，再通过高精度DO计测量生成的氧气浓度，间接换算H₂O₂含量。这一革命性设计摒弃了传统化学法需要的试剂添加系统
标准技术规格
| 参数项 | 规格值
| -------- | ------------------------
| 测量原理 | N-Lite® DEP酶反应 + DO溶解氧检测
| 测量范围 | 0.3～60 ppb
| 检测下限 | 0.3 ppb（DO波动≤0.1ppb时）
| 测量上限 | 60 ppb
| 精度 取决于DO计精度（通常±0.1ppb）
| 尺寸 | 600×600×1200 mm（W×D×H）
| 重量 | 约100 kg
| 自动功能 | 自诊断、自动冲洗启动
产品核心优势✅ 无试剂消耗：无需添加任何化学试剂，大幅降低运行成本和环境负担✅ 维护简便：无需更换试剂管路、泵阀等易损件✅ 抗干扰能力强：可准确测量TOC-UV系统产生的H₂O₂，不受其他物质干扰✅ 智能自诊断：自动判定N-Lite® DEP树脂劣化状态，预警更换时机✅ 超纯水专用：专为电阻率≥18MΩ·cm的超纯水系统设计典型应用场景半导体制造：监测TOC-UV氧化后残留H₂O₂浓度晶圆清洗：控制清洗液中H₂O₂浓度在ppb级超纯水系统：在线验证UV氧化效率制药用水：无菌制剂用水的痕量氧化剂监控
与传统技术对比
| 对比项 | NOXiEMON®酶法 | 传统化学法（如钛络合物法） |
| --------- | ----------- | ------------- |
| 试剂消耗 | 无 | 需持续添加化学试剂 |
| 维护频率 | 低（仅更换树脂） | 高（试剂管路、泵阀） |
| 速度 | 实时响应 | 2-10分钟响应 |
| 交叉污染 | 无 | 试剂可能引入污染 |
| 运行成本 | 低 | 高（试剂+废液处理） |
| 环境友好性| 优（无废液） | 差（产生化学废液） |
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