山田光学YAMADA高亮度卤素灯YP-250I/YP-150I用途介绍

更新时间：2025-12-16

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山田光学（YAMADA）推出的YP-250I和YP-150I高亮度卤素灯光源装置是专为半导体及精密制造行业设计的表面缺陷检测设备。这两款产品凭借其出色的光学性能和可靠性，已成为晶圆、液晶基板等精密材料表面质量控制的行业标准工具。一、核心用途：精密表面缺陷检测YP系列卤素灯的核心用途是为宏观目视检查提供高强度照明，帮助检测人员发现硅晶片、玻璃基板等精密材料表面的微观缺陷。这些缺陷包括：划痕与异物颗粒：可检测小于0.2μm的微小瑕疵抛光不均匀：识别CMP（化学机械抛光）工艺后的表面平整度问题雾度与滑移：发现液晶基板透光性缺陷及晶体滑移线该系列通过提供超过400,000勒克斯（Lx）的超高照度，使这些在普通照明下难以察觉的缺陷清晰可见。二、技术特点与优势1. 超高亮度照明系统照度突破：在照射距离140mm（YP-150I）或220mm（YP-250I）处，照度可达400,000Lx以上高色温：卤素灯色温约3400K，光线稳定锐利，还原真实缺陷形貌均匀照明：光学设计确保照明区域内照度不均性极小，避免漏检误判

2. 热管理创新采用冷镜技术将热量影响降低至传统铝镜的1/3，有效保护热敏感样品（如光刻胶涂层晶圆），同时提升检测人员操作舒适度。3. 灵活的操作设计两段式切换：一键快速切换高低照度模式，适应不同缺陷类型的观察需求可选冷却方式：YP-250I提供螺旋桨风扇式或管道风扇式两种冷却方案，可根据洁净室环境要求灵活配置三、典型应用场景1. 半导体制造全流程质量控制晶圆表面缺陷检测：在切割、封装前进行最终目视检查，确保成品率光刻工艺检查：检测曝光后图案完整性及表面污染CMP后检查：识别抛光液残留、划痕等常见缺陷研发实验室：为新材料、新工艺开发提供高精度照明支持2. 液晶与显示面板行业用于检测液晶基板的表面划痕、雾度不均、颗粒污染等问题，确保显示效果。3. 精密光学元件检测适用于玻璃透镜、光学窗口等透明材料的表面质量评估

四、型号对比与选型建议

| 参数 | YP-150I | YP-250I |

| ---------- | ------------ | ----------- |

| **照明范围** | φ30mm | φ60mm |

| **适用晶圆尺寸** | 6英寸及以下 | 8英寸及以下 |

| **典型应用** | 小尺寸样品、局部精细检测 | 大尺寸样品、全表面扫描 |

| **冷却方式** | 强制风冷 | 螺旋桨或管道风扇可选 |

| **重量** | 约1.85kg | 约2.7kg |

选型建议：YP-150I：适合实验室研发、小批量6英寸晶圆检测或对局部区域进行高倍率观察的场景YP-250I：适合8英寸晶圆量产线、需要更大照明范围的全表面快速检测场景五、在精密制造业中的核心价值提升检测效率：超高照度使缺陷识别速度提升3-5倍，减少人员疲劳降低漏检率：可检测0.2μm级缺陷，显著改善质量控制水平兼容洁净环境：管道风扇型可外接排风系统，避免气流扰动洁净室环境投资回报明确：通过提高产品良率，通常在3-6个月内即可收回设备投资结语山田光学YP-250I和YP-150I高亮度卤素灯凭借其光学性能、人性化设计和可靠品质，已成为半导体、液晶等精密制造领域重要的检测工具。随着制程技术向更优良节点发展，对表面缺陷检测的要求愈发严苛，YP系列通过持续的技术迭代，将继续为微观结构观察和质量控制提供高质量的照明解决方案

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