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德国SONOSYS兆声波清洗机 介绍

更新时间:2025-09-26      浏览次数:11

SONOSYS 是全的球的领的先的兆声波技术供应商之一,尤其在半导体、微电子和精密光学等高的端制造领域享有盛誉。其产品以高效、均匀和低损伤的清洗效果而著称。


一、 公司简介

  • 公司全称: SONOSYS GmbH

  • 所在地: 德国斯图加特附近的韦尔贝格,地处德国著名的精密工程和工业技术核心区。

  • 核心技术: 专注于研发和生产基于兆声波技术的精密清洗系统。

  • 市场定位: 面向对清洗工艺要求极严苛的高科技行业,提供定制化的高的端清洗解决方案。


二、 兆声波清洗技术原理与优势

要理解SONOSYS的优势,首先要明白兆声波清洗与普通超声波清洗的区别:

特性普通超声波清洗兆声波清洗
频率范围通常 20 kHz - 80 kHz通常 800 kHz - 3 MHz(兆赫兹级别)
物理效应主要依靠空化效应(气泡在液体中剧烈内爆产生冲击力)。减弱空化效应,增强声流效应。产生非常微小、均匀且密集的能量场。
清洗特性清洗力度大,但方向性不强,可能产生“阴影区",对精密部件有潜在损伤风险。清洗力柔和、高度均匀,能穿透微结构,无方向性限制,几乎无损伤
适用对象常规五金件、机械零件等。晶圆、芯片、微机电系统、光学镜头、纳米材料等超精密部件。

SONOSYS兆声波清洗的核心优势:

  1. 极的高的清洗均匀性: 兆声波能在整个清洗槽内产生均匀的能量场,确保每个部件,尤其是大面积如晶圆,表面的每个点都受到一致的清洗作用,避免了清洗不均的问题。

  2. 无损清洗: 由于能量柔和且空化效应弱,SONOSYS的清洗机非常适合清洗带有微细结构、脆弱线路或敏感涂层的部件,不会造成物理损伤。

  3. 卓的越的颗粒去除能力: 对于亚微米甚至纳米级别的微小颗粒污染物,兆声波的“声流"效应能有效地将其从表面“剥离",这是普通超声波难以实现的。

  4. 高效且节省化学品: 强大的物理清洗能力意味着可以减少化学清洗剂的使用量和使用时间,更加环保和经济。


三、 SONOSYS兆声波清洗机的主要产品系列与应用

SONOSYS提供从标准模块到完的全定制化的自动化系统。

1. 核心产品类型

  • 兆声波换能器模块: 这是SONOSYS的核心技术部件。他们生产各种形状和尺寸的兆声波 transducer,可以集成到客户现有的清洗槽或设备中。

  • 台式/实验室级清洗机: 用于研发、小批量生产或工艺验证。例如 MST系列,结构紧凑,适合实验室环境对单片晶圆或小型精密部件进行清洗。

  • 在线式/全自动清洗系统: 集成到自动化生产线中,用于大规模制造。通常配备机械手、化学品管理系统、干燥单元等,实现全自动操作。例如用于半导体前道制程的晶圆清洗站。

2. 主要应用领域

  • 半导体制造:

    • 晶圆清洗: 在光刻、刻蚀、沉积等工艺前后,去除硅片表面的颗粒、有机物和金属污染物。

    • 光掩膜版清洗: 清洁极其昂贵且精密的掩膜版,确保图形转移的准确性。

    • CMP后清洗: 清除化学机械抛光后残留的研磨颗粒和浆料。

  • 微机电系统:

    • 清洗具有复杂三维微结构的MEMS器件,去除在刻蚀和释放步骤中产生的残留物,而不损坏脆弱的悬臂梁和结构。

  • 精密光学与光电:

    • 清洗激光镜片、光学传感器、相机模组等,确保极的高的洁净度,避免成像瑕疵。

  • 先进封装:

    • 在晶圆级封装、3D-IC等先进封装工艺中,清洗晶圆和芯片,为键合等步骤做准备。

  • 生命科学:

    • 清洗微流控芯片、生物传感器等医疗器械和实验器件。


四、 总结

德国的SONOSYS兆声波清洗机代表了精密清洗技术的顶尖水平。其核心竞争力在于:

  • 技术专精: 数十年专注于兆声波技术,拥有深厚的技术积累和专的利。

  • 质量可靠: 德国制造,秉承了德国工业对精度、可靠性和耐用性的极的致追求。

  • 解决方案导向: 能够根据客户的具体工艺需求(如工件类型、污染物、产能要求)提供高度定制化的解决方案。

选择SONOSYS的典型场景是: 当您的清洗对象非常精密、昂贵(如晶圆、芯片),且对清洗后的表面质量、颗粒控制和无损伤有极的高要求时,SONOSYS的设备往往是首的选之一。


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