AML英国制造 MEMS传感器有源皮拉尼和压电计 AGP-1真空测量概观

更新时间：2024-04-01

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AML英国制造 MEMS传感器有源皮拉尼和压电计 AGP-1真空测量概观

MEMS有源皮拉尼和压电计

AGP Active Pirani Gaugehead

AGP皮拉尼规结合了尖的端的MEMS传感器技术、精密的数字信号处理和先进的测量算法。

传感器的设置和参数是用户可编程的串行接口，使诊断，

预测性维护，服务，校准，设定值配置，模拟输出缩放

和实时真空压力测量的采集。提供多种模拟输出缩放选

项，以模拟其他供应商的真空计和传感器。

■ Measurement range: 1 x 10-6 mBar to 1333 mBar (7.5 x 10-7 to 1000 Torr)

■ Ultra-wide range high performance MEMS Pirani sensor

■ Advanced innovative digital signal processing

■ Precision gas-independent sensor from 5 to 1333 mBar

■ 0 - 10 Vdc programmable voltage output

■ Mountable in any orientation without impact on performance

■ Programmable voltage output signal

■ Digital RS-232 interface

■ One solid-state relay for process control

■ High overpressure tolerance of 10 bar (145 psi) absolute

■测量范围:1 x 10-6毫巴至1333毫巴（7.5 x 10-7至1000托）

■超宽范围高性能MEMS Pirani传感器

■先进的创新数字信号处理

■5~1333 mBar的精密气体独立传感器

■0-10 Vdc可编程电压输出

■可在任何方向安装，不影响性能

■可编程电压输出信号

■Digital RS-232 interface

■一个用于过程控制的固态继电器

■绝对超压耐受性高，可达10 bar（145 psi）

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