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AML英国制造 MEMS传感器有源皮拉尼和压电计 AGP-1真空测量 概观

更新时间:2024-04-01      浏览次数:51

AML英国制造 MEMS传感器有源皮拉尼和压电计 AGP-1真空测量 概观

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MEMS有源皮拉尼和压电计

AGP主动皮拉尼·高格黑德

AGP Active Pirani Gaugehead

AGP皮拉尼规结合了尖的端的MEMS传感器技术、精密的数字信号处理和先进的测量算法。

概观

  • 1 x 10的测量范围

    -6

    至1200毫巴(7.5 x 10

    -7

    至900托)
  • 超宽范围高性能MEMS传感器
  • 先进创新的数字信号处理
  • 从5到1200毫巴的精密气体独立传感器
  • 可安装在任何方向,不影响性能
  • 可编程电压输出信号
  • 数字RS-232接口
  • 一个用于过程控制的固态设定点
  • 10巴(145磅/平方英寸)的高过压容限
  • 坚固、紧凑的不锈钢法兰和外壳设计

传感器的设置和参数是用户可编程的串行接口,使诊断,

预测性维护,服务,校准,设定值配置,模拟输出缩放

和实时真空压力测量的采集。提供多种模拟输出缩放选

项,以模拟其他供应商的真空计和传感器。

■ Measurement range: 1 x 10-6 mBar to 1333 mBar (7.5 x 10-7 to 1000 Torr)

■ Ultra-wide range high performance MEMS Pirani sensor 

■ Advanced innovative digital signal processing

■ Precision gas-independent sensor from 5 to 1333 mBar 

■ 0 - 10 Vdc programmable voltage output 

■ Mountable in any orientation without impact on performance 

■ Programmable voltage output signal 

■ Digital RS-232 interface 

■ One solid-state relay for process control 

■ High overpressure tolerance of 10 bar (145 psi) absolute 


■测量范围:1 x 10-6毫巴至1333毫巴(7.5 x 10-7至1000托)

■超宽范围高性能MEMS Pirani传感器

■先进的创新数字信号处理

■5~1333 mBar的精密气体独立传感器

■0-10 Vdc可编程电压输出

■可在任何方向安装,不影响性能

■可编程电压输出信号

■Digital RS-232 interface

■一个用于过程控制的固态继电器

■绝对超压耐受性高,可达10 bar(145 psi)

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