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sakaguchi-dennetsu加热器

sakaguchi-dennetsu加热器ExLASER
特征
超快速加热和冷却是可能的
一次性均匀加热 2 英寸基板
可以只对被加热物直接加热
可以进行适合工艺的温度控制
无需加热大气即可实现节能

  • 产品型号:ExLASER
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-03-25
  • 访  问  量:546
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sakaguchi-dennetsu加热器ExLASER

sakaguchi-dennetsu加热器ExLASER




特征

  • 超快速加热和冷却是可能的

  • 一次性均匀加热 2 英寸基板

  • 可以只对被加热物直接加热

  • 可以进行适合工艺的温度控制

  • 无需加热大气即可实现节能

  • MBE 设备的基板加热

  • 晶圆退火(SiC、GaAs等)

  • 多层结构器件的表面层退火是可能的(用于小型化器件)

标准规格

型号:EXL-CT-010-DS55
激光照射方式直接型身体尺寸H625mm x W700mm x D320mm
激光输出高达 1kW配件专用冷水机
激光波长808nm评分本体:1P200V20A
冷水机:1P200V15A
激光形状正方形
光学系统(均匀性)均质器 (±5%)评论JST原创造型
开发品(2005年度)
加热区□ 55mm
工作距离400mm~

*以上为标准规格。可根据客户要求更改。


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