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sakaguchi-dennetsu微型 ALN 热板 实验室电热板

sakaguchi-dennetsu微型 ALN 热板MTP-500
板材采用导热性高、可靠性高的氮化铝。
由于温度传感器内置于加热器中,因此可以进行精确的温度控制。

  • 产品型号:MTP-500
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-03-25
  • 访  问  量:381
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品牌其他品牌产地国产

sakaguchi-dennetsu微型 ALN 热板MTP-500

sakaguchi-dennetsu微型 ALN 热板MTP-500





板材采用导热性高、可靠性高的氮化铝。
由于温度传感器内置于加热器中,因此可以进行精确的温度控制。

特征

  • 温度分布
    由于板面均匀结合了小面积、大容量的发热体,温度分布良好。


  • 它可以在 400°C 或更低的正常温度下使用(最大.

  • 温度控制
    加热器内置温度传感器,可实现精确的温度控制。

  • 导热
    板采用高导热、高可靠性的氮化铝。

标准规格

类型名称MTP-500
产品代码MTP500
加热器等级100V *330W±25%(瓦特密度:13.2W/cm 2
内置热电偶K 型热电偶(内置于加热器中)
工作温度气氛:正常使用 400°C 500°C Max
真空中:正常使用 400°C 500°C Max(取决于真空压力条件)
板块面积50×50mm

*容量为室温下的容量。请注意,它会随着温度升高而降低。

用途

  • 半導体ウェーハ製造加熱用、液晶ディスプレイ基板加熱用

  • CVD、スパッタリング、プラズマエッチングの熱処理用

  • プラスチック、ゴム等の予熱・成型ホットプレス金型

  • 各種化学機器、試験装置の加熱基盤

  • 電子材料、新素材の開発試験用

製作仕様 (全品受注生産)

温度範囲~900℃
熱板材質アルミ、SUS304、SUS316L、ハステロイC、インコネル600、石英
表面処理アルマイト、タフラム、ニッケル、クロム等処理
使用雰囲気大気中、真空中、不活性ガス及び各種処理ガス中
温度分布濃度仕様要求温度に応じて有効ゾーン内設定温度の±1%(℃)可能
温度センサー主にシース熱電対を熱板内に設置使用


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