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fuji多组分密度计

fuji多组分密度计FUD-1 Model-53
产品概览
在保持 FUD-1 Model-53 的优点(例如易于维护和高精度在线测量)的同时,该型号具有用于半导体制造过程的小电池型发射器。

  • 产品型号:FUD-1 Model-53
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-03-23
  • 访  问  量:362
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产品详情
品牌其他品牌产地国产

fuji多组分密度计FUD-1 Model-53

fuji多组分密度计FUD-1 Model-53







FUD-1 Model-53

产品概览

在保持 FUD-1 Model-53 的优点(例如易于维护和高精度在线测量)的同时,该型号具有用于半导体制造过程的小电池型发射器。

多组分密度计的特点

3成分中的2成分浓度计端可以实时进行

  • 配备模拟 DC4 至 20mA(2 个系统)和数字 RS232C 作为标准设备

  • 标配测量误差输出和报警输出

  • 标配自诊断功能和错误信息显示

  • 小巧轻便的电池型变送器可直接安装在线路上

  • 接液部分材料采用PFA,小输出设计对化学品无影响


优点

  • 可以进行高精度的连续测量

  • 免维护,无需定期调整或校准

  • 安装方便,安装时无需进行各种调整

  • 通过实时输出轻松反馈过程


用法

  • CMP工艺中的CMP浆料和氧化剂浓度管理等

  • 清洗过程中的清洗液浓度管理(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)

  • 刻蚀工艺中的刻蚀液浓度管理(TMAH+抗蚀剂、TMAH+Si等)

规格

模型FUD-1 Model-53
 转换器
测量参数超声波传播速度/温度/电导率
展示LCD(浓度1、浓度2、温度、声速、电导率/各种参数)
输出信号模拟4~20mA DC:2个系统(浓度值可自由设定)
数字RS232C(浓度1、浓度2、声速、温度、电导率、错误代码)
报警上下限测量误差:2个系统
电源AC100V-240V 50/60Hz 30VA(也可使用24V DC)
结构面板安装型(符合 DIN 标准)
环境温度转换器0 至 50°C
RH85%以下(无结露)
功能输出量程设定功能、报警输出设定功能、浓度显示移动平均功能、浓度显示偏置增益设定功能、自诊断功能、故障安全功能、异常值消除功能、温度时间常数校正
选项温度输出(4 至 20mA DC)
RS485 输出(不能与 RS232C 同时输出)
通道(校准曲线)最大 7ch
兼容变送器示例SA-20S29+电导仪、SA-20S27+电导


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